國(guó)內(nèi)首臺(tái)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)光刻機(jī)將面世
國(guó)內(nèi)首臺(tái)具有世界領(lǐng)先水平、擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的直寫(xiě)式光刻機(jī)即將在合肥面世，標(biāo)志著我國(guó)亞微米級(jí)光刻機(jī)完全依賴(lài)進(jìn)口的局面將被打破。
記者從位于合肥市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)的芯碩半導(dǎo)體(合肥)有限公司了解到，該公司生產(chǎn)的兩臺(tái)直寫(xiě)式光刻機(jī)樣機(jī)已進(jìn)入最后的總裝調(diào)試階段，12月底將面世。據(jù)介紹，與目前國(guó)際上同類(lèi)產(chǎn)品相比，其生產(chǎn)的直寫(xiě)式光刻機(jī)分辨率達(dá)到亞微米級(jí)，且產(chǎn)能較高，達(dá)到了世界領(lǐng)先水平。
據(jù)悉，光刻機(jī)是半導(dǎo)體設(shè)備里最關(guān)鍵的設(shè)備之一，每一代半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展都是以光刻線(xiàn)寬為代表。但目前在中國(guó)，生產(chǎn)用光刻機(jī)完全依賴(lài)進(jìn)口，國(guó)產(chǎn)品牌的亞微米級(jí)光刻機(jī)還是空白。芯碩半導(dǎo)體公司生產(chǎn)的直寫(xiě)式光刻機(jī)具有中國(guó)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，將為中國(guó)光刻機(jī)技術(shù)的發(fā)展奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
